[21p-P09-1~10] 9.4 熱電変換

[21p-P09-7] Fe2VWAl 薄膜/Si 基板複合構造の界面特性評価

〇榎本 康生¹、上沼 睦典¹、前田 俊光¹、浦岡 行治¹ (1.奈良先端大)

キーワード：薄膜型熱電変換素子、Fe2VWAl

薄膜型熱電変換素子は十分な発電をするためにバルク材料に比べ大きな出力因子(PF)が必要とされており、Fe2VWAl薄膜/Siは他材料を凌駕するPFを有することが報告されている。我々はその要因を接合界面が影響を与えていると考え、Fe₂VWAl/pSi構造に対し容量―電圧(C-V)特性から接合界面の電気特性評価を行った。その結果、Fe₂VWAl/pSi接合界面にショットキー障壁があることが示唆された。