[21p-P12-1~54] 17 ナノカーボン(ポスター)

[21p-P12-49] MoS₂-FET電気特性に対する液相アルコールの効果

〇高岡 毅¹、Uddin Nasir²、和泉 廣樹²、道祖尾 恭之¹、安藤 敦³、米田 忠弘¹ (1.東北大多元研、2.東北大院理、3.産総研)

キーワード：層状物質、二硫化モリブデン、電界効果トランジスタ

二硫化モリブデン(MoS₂)を用いた電界効果トランジスタ（FET）が液体と接したときの電気特性の変化を調べた。MoS₂薄膜を転写したSiO₂/Si 基板に電極を蒸着し、MoS₂-FETデバイスを作成した。表面にPDMS製のマイクロ流体チャネルを接着し、溶液を導入した。IPAを流しているときの、ドレイン電流のゲート電圧依存性（I_D-V_Gプロット）を測定した結果から、液体の流れにより、吸着分子の電荷が変化し、FETの電気的性質が変化した、と考えられる。