[21p-P15-1~6] 6.1 強誘電体薄膜

[21p-P15-4] P(VDF-TrFE)薄膜による超音波センシングの検討

〇平塚 一暉¹、吉村 武¹、藤村 紀文¹ (1.阪公大院工)

キーワード：圧電体、PVDF

優れた圧電特性や焦電特性を有する有機強誘電体P(VDF-TrFE)は、その柔軟性や低い誘電率から、エナジーハーベスタやセンサ応用への期待が高まっている。本研究では、超音波センシング用途で重要となる正圧電応答によるd₃₃定数の評価、デバイス構造の最適化について検討した。