[21p-P15-1~6] 6.1 強誘電体薄膜

[21p-P15-6] 異なる結晶配向性を有する(K,Na)NbO3膜のマイクロ波加熱式水熱堆積

〇酒井 利晋¹、横田 幸恵¹、内田 寛¹ (1.上智大)

キーワード：強誘電体薄膜、ニオブ酸カリウムナトリウム、水熱合成

応力センサーならびにエナジーハーベスター素子用の圧電材料として環境負荷が比較的に低 い非鉛系材料であるニオブ酸カリウムナトリウム(K,Na)NbO3（KNN）の利用が注目されている。これまでに 我々はマイクロ波加熱式水熱合成により、SrTiO3:Nb などの単結晶基板上で(100)選択配向性を有する KNN厚膜の高速合成に成功している 。この材料の更なる特性向上や分極特性発現機構の検証を最終 目標とし、本研究では結晶配向性が種々の配向性 KNN 厚膜を単結晶基板上に作製し、それらの堆積 挙動や特性の相違について調査を行った。