[21p-P16-1~15] 6.4 薄膜新材料

[21p-P16-5] 単層グラフェン膜のフェムト秒レーザー加工と表面洗浄

〇門口 尚広^1,2、小林 哲郎^1,2、上杉 祐貴^1,3、小澤 祐市¹、佐藤 俊一¹ (1.東北大多元研、2.東北大工院、3.JSTさきがけ)

キーワード：レーザープロセス、フェムト秒レーザー、グラフェン

フェムト秒レーザーを用いた薄膜加工技術を応用して、単層グラフェン膜の新しい微細加工技術の開発を行っている。その過程で、低強度のレーザー照射によってグラフェン膜表面の汚染物質の除去の可能性を見出した。これは、新しい表面洗浄技術としての展開が期待できる。講演では、本実験系の概要と併せて、フェムト秒レーザーを照射して汚染物質を除去したグラフェン膜を詳細に分析した結果について、報告する。