[22a-A105-1~11] 12.7 医用工学・バイオチップ

△ [22a-A105-5] Indium Tin Oxide薄膜をチャネルとする溶液ゲート電界効果トランジスタの作製方法と電気特性評価

〇(M1)片山 律¹、坂田 利弥¹ (1.東大院工)

キーワード：バイオセンサ、半導体、酸化インジウムスズ

本研究では、ソース/チャネル/ドレイン間に界面を持たず、かつ微細化が簡便な溶液ゲート薄膜ITOチャネルFETの作製方法を考案した。厚さ100 nm程度の導電性ITO薄膜をガラス基板上に成膜し、フォトリソグラフィーを用いてチャネル部分となるITOのみを酸でエッチング処理して半導体特性を示す20 nm程度の厚さとすることで、目的の溶液ゲート薄膜ITOチャネルFETの作製が可能となった。