[22a-A202-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

△ [22a-A202-6] Al₂O₃表面上に非晶質炭素成長への分子動力学シミュレーション

〇YUE QIANG¹、金山 大志¹、松尾 航太¹、西川 僚馬¹、中本 歴¹、横谷 尚睦²、村岡 祐治² (1.岡山大自然科学研究科、2.岡山大基礎研)

キーワード：非晶質炭素、分子動力学シミュレーション

分子動力学シミュレーションは原子レベルで薄膜形成の定性・定量的分析が可能であるため、界面を含めた膜形成プロセスを理解する上で有用である。現在、Al₂O₃基板表面上の炭素膜形成に関する分子動力学シミュレーションの例はなく、その実施は興味深い。そこで、本研究では、Al₂O₃基板に堆積した非晶質炭素膜について分子動力学シミュレーションを行い、膜形成過程や膜‐基板界面の化学結合状態について調べた。