[22a-C201-1~10] 3.8 テラヘルツ全般（旧3.9）

△ [22a-C201-4] バビネ相補型二重メタルメッシュ構造とシリコンサブ波長構造によるテラヘルツバンドパスフィルタ

〇宮田 香清¹、豊島 理彩¹、後藤 優花¹、鹿島 千晴¹、飯嶋 航大¹、田中 海翔¹、正光 義則²、中岡 俊裕¹、和田 武彦² (1.上智大学、2.宇宙航空研究開発機構)

キーワード：バンドパスフィルタ、メタルメッシュ、サブ波長構造

メタルメッシュは四角開口を正方格子状に配置した金属製周期構造の薄膜で，テラヘルツ/赤外領域でバンドパスフィルタや干渉フィルタの応用に向けて，活発に研究されている．しかしながら一般的に薄い金属膜で形成されるため，物理的な耐久性に課題がある．本研究では，シリコンサブ波長構造上にAu蒸着を施すことで，物理耐久性の高い，バビネ相補型二重メタルメッシュ構造によるバンドパスフィルタを作成したので報告する．