[22a-C301-1~11] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

[22a-C301-6] 【注目講演】気相レーザーアブレーション法により作製されたSiCナノ微粒子の発光特性の雰囲気ガス圧依存性

〇山口 遼介¹、原口 遼¹、石原 淳¹、宮島 顕祐¹ (1.東理大院)

キーワード：半導体、レーザーアブレーション