[22p-A105-1~20] 12.7 医用工学・バイオチップ

△ [22p-A105-18] 生体機能を模したにおいセンシングのためのCMOSガスセンサ基礎特性の検証

〇和田 武¹、崔 容俊¹、高橋 一浩¹、澤田 和明¹、野田 俊彦¹ (1.豊橋技科大)

キーワード：電位検出型ガスセンサ、E-nose、ガス感応膜

本研究ではCMOS 電位型ガスセンサの動作モデルから，ガス検出メカニズムを考察した．ガス吸着前後に生じる特性線のシフトと傾きの変化から感応膜に生じる容量と電位の変化を検出できると予想された．ガス曝露に伴って，感応膜誘電率及び固定電荷密度の変化に起因する特性線のシフト，および傾きの変化が生じた．本結果は，電位センサ及びガス感応膜を用いた新規ガスセンシングデバイスの基礎特性を明らかにした．