[22p-A202-1~22] 6.2 カーボン系薄膜

△ [22p-A202-14] 水素プラズマエッチングのダイヤモンド結晶配向依存性評価

〇吉井 大陸¹、藤井 茉美²、上沼 睦典¹、浦岡 行治¹ (1.奈良先端大、2.近畿大)

キーワード：ダイヤモンド、原子間力顕微鏡、電子後方散乱回折法

水素プラズマがダイヤモンド表面に与える影響や役割を明らかにすることはダイヤモンドエレクトロニクス分野に置いて大変有益である。しかしながら、これまでの研究では代表的な結晶方位に関する研究に留まっており、中間方位に関しては詳細な調査が成されておらず、体系的な結晶方位のエッチング傾向が示されてこなかった。本研究では原子間力顕微鏡と電子後方散乱回析法により評価し、その傾向を明らかにした。