[22p-A202-1~22] 6.2 カーボン系薄膜

△ [22p-A202-9] 同軸型アークプラズマ成膜法による導電性超ナノ微結晶ダイヤモンド薄膜の電気化学特性

〇橋口 寛生¹、長野 里基¹、楢木野 宏¹、吉武 剛¹ (1.九大院総理工)

キーワード：超ナノ微結晶ダイヤモンド、電気化学、薄膜

本研究は物理気相成長法の一種である同軸型アークプラズマ成膜(CAPD)法により，導電性Si基板上に導電性超ナノ微結晶ダイヤモンド(UNCD)薄膜を成膜し，電気化学特性を調査した．その結果，導電性UNCD電極は優れた電極材料であるホウ素ドープ多結晶ダイヤモンド(BDD)電極に匹敵する性能を示した．