[22p-B102-1~10] 特色ある分光評価法による半導体発光材料・光物性再訪：新しい展開を目指して

[22p-B102-8] テラヘルツ時間領域分光・エリプソメトリによる光物性

〇中嶋 誠¹、Agulto Verdad¹、岩本 敏志^1,2 (1.阪大レーザー、2.日邦プレシジョン)

キーワード：テラヘルツ、エリプソメトリ、ワイドギャップ半導体

テラヘルツ波時間領域エリプソメトリの開発を行い、回転検光子法を用いることで測定精度を一桁以上高めることに成功した。非破壊・非接触のテラヘルツ波時間領域エリプソメトリによりワイドギャップ半導体の伝導特性評価(キャリア密度や移動度)を実施した例を中心に、テラヘルツ分光での研究成果を紹介する。