[22p-B203-1~21] 17.1 カーボンナノチューブ，他のナノカーボン材料

[22p-B203-17] インクジェット式全印刷カーボンナノチューブ膜型光熱起電力検出器

〇酒井 大揮¹、安井 皐^2,3、李 恒^2,3、河野 行雄^1,2,3,4 (1.中大理工、2.東工大未来研、3.東工大電電、4.NII)

キーワード：カーボンナノチューブ、インクジェット印刷、光熱起電力効果

単層カーボンナノチューブ（SWCNT）の広帯域な吸光特性やフレキシビリティを活かし，立体イメージングへの応用が期待されている．一方でイメージング応用の観点からは，高解像度な動画撮影への拡張に向けて微細集積化が必須となっている．現状のSWCNTフィルム型広帯域フレキシブルイメージャーは吸引濾過法により作製している．素子作製にはチャネル，電極，ケミカルドーピングが必要だが，各要素形成時の手動操作による位置合わせが微細集積化へのボトルネックとなっている．これらの解決手法として，インクジェットディスペンサによる構成要素の全印刷作製に成功し，機械的な位置合わせが可能となったためこれを報告する．