[22p-C205-1~15] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析 、7.5 イオンビーム一般のコードシェア

[22p-C205-8] 反応性ガス雰囲気下GCIB照射を用いた表面活性化接合の接合状態

〇花原 総一¹、竹内 雅耶¹、豊田 紀章¹ (1.兵庫県立大工)

キーワード：ガスクラスターイオンビーム