[22p-C205-1~15] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析 、7.5 イオンビーム一般のコードシェア

[22p-C205-9] 位置制御とGCIB-ALEを用いた高精度形状加工技術の検討

〇藤原 怜輝¹、竹内 雅耶¹、豊田 紀章¹ (1.兵庫県大工)

キーワード：原子層エッチング、ガスクラスターイオンビーム