[22p-C301-1~17] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

△ [22p-C301-8] レーザー加工穴径の定量的予測を可能とする空気中でのフェムト秒光パルスの非線形伝搬シミュレーション

〇山田 涼平¹、小松原 航¹、櫻井 治之^1,2、小西 邦昭¹、三尾 典克¹、湯本 潤司¹、五神 真¹ (1.東大院理、2.東大物性研)

キーワード：フェムト秒レーザー加工、非線形光学効果、金属加工

我々はこれまでに、サブ100 fsの超短パルスレーザーを用いた加工で問題となる空気中での非線形伝搬を数値シミュレーションし、加工結果の定量的な予測の可能性を探ってきた。本研究では、シミュレーション結果に大きく影響する気体のイオン化について、様々なモデルを用いた計算結果を比較することで、2桁に及ぶ幅広いパルスエネルギー領域で加工穴径を定量的に予測可能なシミュレーション手法を見いだした。