2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

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[22p-M206-1~16] 23.1 合同セッションN「インフォマティクス応用」

2022年9月22日(木) 13:30 〜 18:00 M206 (マルチメディアホール)

知京 豊裕(物材機構)、大久保 勇男(物材機構)、冨谷 茂隆(ソニー)

15:45 〜 16:00

[22p-M206-9] 専門家の知識を入れたものづくりのためのデータ同化(ii)
-SiC溶液成長シミュレーションへの適用-

太田 壮音1,2、沓掛 健太朗1,3、竹野 思温4、烏山 昌幸4、竹内 一郎2,3、原田 俊太1,2、田川 美穂1,2、宇治原 徹1,2 (1.名大未来研、2.名大院工、3.理研AIP、4.名工大)

キーワード:データ同化、半導体、シミュレーション

SiC溶液成長法における熱流体解析の高精度化に向け、実験者とシミュレーション使用者の専門知識を取り入れたデータ同化手法を提案し、それを用いて高温のSi溶液の物性値推定を行った。