15:45 〜 16:00
[22p-M206-9] 専門家の知識を入れたものづくりのためのデータ同化(ii)
-SiC溶液成長シミュレーションへの適用-
キーワード:データ同化、半導体、シミュレーション
SiC溶液成長法における熱流体解析の高精度化に向け、実験者とシミュレーション使用者の専門知識を取り入れたデータ同化手法を提案し、それを用いて高温のSi溶液の物性値推定を行った。