[22p-P07-1~15] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[22p-P07-12] 永久磁石を用いた二交流ホール効果測定装置の構築と酸化物半導体の電子物性評価

〇吉松 公平¹、成田 千春¹、組頭 広志¹ (1.東北大多元研)

キーワード：ホール効果測定、酸化物半導体、ロックイン検出

ホール効果測定は材料の電子物性を評価する一般的な測定手法である。近年、小さなホール電圧シグナルを高感度に検出可能な交流磁場ホール効果測定法が注目されている。本研究では永久磁石で交流磁場を生成するホール効果測定装置を考案し、二交流ホール効果測定装置の開発と典型的な酸化物半導体である酸化亜鉛ZnO薄膜の電子物性評価を行った。