[23a-A401-1~6] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[23a-A401-1] In₂O₃結晶相転移によるTFT型CO₂ガスセンサーの特性向上

〇(M1)野寺 歩夢¹、森 峻¹、永井 裕己¹、相川 慎也¹ (1.工学院大)

キーワード：薄膜トランジスタ、CO2、センサ