[23a-B101-1~10] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

△ [23a-B101-6] 紫外/赤外線-プラズマ同時処理に向けた透明電極誘電体バリア放電装置の開発と基礎特性評価

〇劉 智志¹、山内 素明¹、徐 茂¹、大澤 泰樹¹、沖野 晃俊¹ (1.東工大未来研)

キーワード：プラズマ、誘電体バリア放電、表面処理

誘電体バリア放電（DBD）は大気圧下で大面積のプラズマを安定に生成できるため，シート状材料の表面処理に広く利用されている。しかし，DBDでは高密度のプラズマを生成する事が困難なため，高い処理速度を実現しにくい問題が存在する。本研究では，透明電極を用いたDBD装置を開発し，プラズマと紫外線や赤外線を同時に処理対象表面に照射することを実現した。本講演では，この装置の概要及び親水化処理についての基礎特性を発表する。