[23a-C101-1~12] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[23a-C101-7] SiO₂/β-FeSi₂/SiO₂ 積層構造における 1.5 μm 発光の評価

〇吉原 怜¹、大石 結也¹、寺井 慶和¹ (1.九工大情報工)

キーワード：β-FeSi2、シリサイド半導体

β-FeSi₂は光通信波長帯用の新規材料として期待されている．しかし，そのPL強度は高温側で消失する問題がある．その原因の一つに，β-FeSi₂/Siヘテロ界面では価電子帯オフセットが小さく，正孔の閉じ込めが弱いことがあげられる．一方，β-FeSi₂/SiO₂では強い正孔閉じ込めが期待される．そこで本研究では， SiO₂/β-FeSi₂積層構造を作製し，その1.5 μm発光を評価したので報告する．