[23a-C200-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[23a-C200-11] ３次元逆格子マップを用いたGaN基板上単一GaN系量子殻における局所歪評価

〇太田 翔也¹、小林 稜汰¹、安田 伸広²、今井 康彦²、中尾 知代³、荒井 重勇³、青山 晃己¹、西村 一輝¹、上山 智¹、今井 大地¹、宮嶋 孝夫¹ (1.名城大理工、2.高輝度光科学研究センター、3.名大未来材料・システム研)

キーワード：X線ナノビーム、X線回折、ナノワイヤ