[23a-C301-1~11] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

[23a-C301-1] チタンサファイア結晶におけるレーザーアブレーション率のフルーエンス依存性

〇宮坂 泰弘¹、桐山 博光¹ (1.量研関西研)

キーワード：チタンサファイア結晶、レーザーアブレーション、サブナノ秒レーザー

我々は寄生発振の抑制を目的として、チタンサファイア結晶に微細加工を施すことを目指している。ダメージ閾値に関する報告はこれまでに様々あるが、レーザー加工特性に関する報告は少ないのが現状である。本研究では波長532 nm、パルス幅330 psのレーザーを、鏡面研磨を施したチタンサファイア結晶に集光照射した。照射痕の深さを共焦点レーザー顕微鏡により測定することで、アブレーション率のフルーエンス依存性を明らかにした。