[23a-C301-1~11] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

[23a-C301-11] フェムト秒レーザーパルス列からシリコンへのエネルギー移行の第一原理計算

〇堀井 大樹¹、谷 水城¹、加藤 洋生¹、篠原 康¹、石川 顕一¹ (1.東大院工)

キーワード：レーザー加工、フェムト秒レーザー、バーストモード

本研究ではレーザー加工プロセスのうち高強度域を対象としたバースト加工に着目し、パルスエネルギーの総和を一定に保ったままパルス数を増やした時のエネルギー吸収量の変化とそのメカニズムを研究する。物質はSiを想定し、オープンソースソフトウェアのSALMONを用いて時間依存密度汎関数理論(TDDFT)に基づいてシミュレーションを行う。