[23a-P03-1~4] 7 ビーム応用(ポスター)

[23a-P03-1] ECRイオン源による外付けの蒸発源を用いた金属イオン生成の検証

〇小野坂 成龍¹、中村 翼¹、浅地 豊久² (1.大島商船高専、2.新居浜高専)

キーワード：ECRイオン源

本研究室では産業界への応用として，比較的安価に高電荷のイオンを生成できる電子サイクロトロン共鳴イオン源を使用して，多価イオン生成における基礎研究を行なっている。これまでの研究成果として，スパッタ源を用いた実験ではアルミニウム多価イオンの生成量が少ないため，確認できていない。そこで，本研究ではチャンバーの外側に取り付けた蒸発源を使用し，金属イオンの生成における蒸発源の特性を検証した。