[23a-P06-1~28] 21 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」(ポスター)

[23a-P06-5] 異なるMg組成を有する単結晶Zn­­_1-xMg_xO膜成長におけるZnONバッファー層の効果

〇矢高 功太郎¹、高橋 大智¹、山下 尚人¹、山下 大輔¹、奥村 賢直¹、鎌滝 晋礼¹、古閑 一憲^1,2、白谷 正治¹、板垣 奈穂¹ (1.九大シス情、2.自然科学研究機構)

キーワード：ZnMgO、スパッタリング、ヘテロエピタキシー