[23p-B102-1~8] 8.3 プラズマナノテクノロジー

[23p-B102-6] 光ピンセットによる捕捉微粒子を用いたArプラズマ中の電場強度分布及び電場揺動計測(2)

〇鎌滝 晋礼¹、佐藤 斗真¹、富田 健太郎²、Pan Yiming³、山下 大輔¹、山下 尚人¹、奥村 賢直¹、板垣 奈穂¹、古閑 一憲^1,4、白谷 正治¹ (1.九大シス情、2.北大院工、3.九大総理工、4.自然科学研究機構)

キーワード：電場計測、光ピンセット、微粒子

半導体デバイスの3次元集積化に伴い, プラズマプロセスの深い理解に基づいた超高精度ナノプロセスの創成が求められている．このためには，プラズマプロセス中のマイクロ・ナノメールオーダーの微小空間での電場空間分布の解明とその揺動成分の制御が重要である．そこで, 本研究では, 光ピンセット法により補足されたプラズマ中の微粒子をプローブとして, マイクロメートルオーダーの高い空間分解能を持つ電場強度及びその揺動成分の計測の開発を行なっている．