[23p-B102-1~8] 8.3 プラズマナノテクノロジー

[23p-B102-7] TiPS/Ar/H₂系を用いたダイヤモンド・ナノパウダーの直噴化学気相合成におけるプロセス圧力依存性

〇(M2)森田 豪¹、森 敏洋¹、有路 颯樹¹、一色 秀夫¹ (1.電通大情工)

キーワード：ナノ粒子、ダイヤモンド

本研究はダイヤモンド・ナノパウダー（DNP）を得るために必要な分離、精製、分級の工程を必要としない新たなDNP合成法の確立を目指して、マイクロ波プラズマトーチを用いたDNPの気相合成を行う。原料にトリイソプロピルシラン（TiPS）、プラズマ源にH₂に加え、Arを用いることで、Si原子を中心とした気相中での安定した合成を目指す。実験では真空ポンプの排気量の調節を行い、43Torr,52Torr,61Torrと圧力を変化させ、生成物の圧力依存性を確かめた。