[23p-B102-1~8] 8.3 プラズマナノテクノロジー

[23p-B102-8] h-BN成膜用Ar希釈アンモニアボランプラズマの質量分析

〇北嶋 武¹、森表 拓哉¹、中野 俊樹¹ (1.防大電気)

キーワード：プラズマ、h-BN、原子膜

2次元エレクトロニクスの分野で重要な絶縁材料であるh-BNを高速合成するために、アンモニアボランプラズマ中の活性種の分析が必要である。Arプラズマ照射したアンモニアボラン粉末から生じる活性種を質量分析した。プラズマ照射に応答して発生する活性種としてBNH5が確認できた。固相のアンモニアボランが水素脱離して不安定化し、脱離に至ったと考えられる。