2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[23p-C101-1~12] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

2022年9月23日(金) 13:45 〜 17:00 C101 (C101)

末益 崇(筑波大)、寺井 慶和(九工大)

15:00 〜 15:15

[23p-C101-6] Si濃度55 at.%以上でのSr-Si系の相関係

今井 基晴1 (1.物材機構)

キーワード:シリサイド、相図、SrSi2

本研究では、Si濃度が55~100 at. %の範囲において、Sr-Si相図を実験的に検討した。