[22a-E203-1~11] 17.3 Layered materials

[22a-E203-4] Electromechanical properties of hBN/1L-MoS₂ nanomechanical resonators

〇Kento Calvin Chiba¹, Kentaro Sawano¹, Kenji Watanabe², Takashi Taniguchi², Hiroyuki Fujita¹, Yusuke Hoshi¹ (1.Tokyo City Univ., 2.NIMS)

Keywords:2 dimensional materials, Nanomechanical resonators

原子層材料であるMoS₂は、その優れた電気的・機械的特性により、ナノ機械共振器への応用が期待されている。特に単層の場合、圧電効果が生じると報告されている。一方、hBNとの積層構造を利用する事で、電気機械特性の性能向上に高いポテンシャルがあると期待される。本研究では、hBN/MoS₂積層構造を利用したナノ機械共振器を作製し、圧電効果による共振周波数検出に成功した。