[22a-E304-1~6] 可視光からX線によるイメージング　ーその汎用性の探求ー

[22a-E304-5] SAICASの斜め切削機能を活用した薄膜のイメージング

〇佐藤 龍¹ (1.日鉄テクノロジー)

キーワード：表面界面切削解析装置SAICAS、表面分析、電池材料解析

表面界面切削解析装置（SAICAS）による低角度斜め切削面の各種表面分析装置によるイメージング技術をご紹介します。