[22a-E304-1~6] 可視光からX線によるイメージング　ーその汎用性の探求ー

[22a-E304-6] 4D-XPS計測ビッグデータの逆解析による多層積層膜に埋もれた界面の高解像度可視化

〇豊田 智史¹、吉村 真史²、住田 弘祐³、三根生 晋³、町田 雅武⁴、吉越 章隆⁵、吉川 彰¹、鈴木 哲⁶、横山 和司⁶ (1.東北大、2.SP8サービス、3.マツダ、4.シエンタオミクロン、5.原子力機構、6.兵庫県大)

キーワード：埋もれた界面、X線光電子分光法、ビッグデータ

面内分布を有した埋もれた多層膜界面反応の4次元時空間可視化について、その実現可能性を順逆解析双方向のシミュレーションにより検証できるようにするソフトウェア技術を開発した。64コアCPUを利用したマルチスレッド計算処理を実装し、１億本のXPSスペクトルのピークフィッティング処理を1日弱程度でできるようにしつつ、深さ方向解析ソフトウェアについてもマルチスレッド計算処理を実装して、800万の深さ方向分布を一週間程度で解析を可能にし、多層積層膜に埋もれた界面の高解像度化に成功した。