[22a-P01-1~10] 1.3 新技術・複合新領域

[22a-P01-2] 高空間分解能な静電場イメージングに向けたアレイセンサの開発

〇菊永 和也¹ (1.産総研)

キーワード：静電場イメージング、アレイセンサ