[22p-E105-1~18] 8.1 プラズマ生成・診断

[22p-E105-15] フラットループアンテナを用いた定常高密度ヘリコンプラズマ源の低電力試験

〇(M1)瀬戸 拓実¹、近藤 綾音¹、江角 直道¹、平田 真史¹、東郷 訓¹、坂本 瑞樹¹、古川 武留²、篠原 俊二郎³ (1.筑波大プラ研セ、2.神戸大、3.東京農工大)

キーワード：プラズマ生成、ヘリコン波プラズマ

ヘリコン波プラズマ源は高密度プラズマ生成が可能であり、プロセス装置、スラスターや核融合基礎研究に応用されている。一方で大口径化・高効率化、安定した定常放電の維持等の課題がある。そこで電界分布を制御可能なフラットループアンテナ、強力な水冷システムを新たに開発し、30 kW RF電源を用いた大口径定常高密度プラズマ生成の実現を目指している。講演ではその初期結果として、低電力放電試験の結果について報告する。