[22p-E303-1~13] 3.15 シリコンフォトニクス・集積フォトニクス

[22p-E303-12] Pt-WO₃/Si微小リング共振器水素ガスセンサのAl₂O₃を用いた高感度・高速応答化に向けた設計

〇(M2)高橋 晶崇¹、荒川 太郎¹、岡崎 愼司¹、西島 喜明¹、肥後 昭男² (1.横浜国大院工、2.東大院工)

キーワード：シリコンフォトニクス、センシングデバイス

本研究では、光学的水素ガスセンサの超小型・軽量化、低コスト化を目指し、Pt-WO₃水素感応膜とSiマイクロリング共振器（MRR）を組み合わせた水素ガスセンサを提案し、その設計と動作実証を行ってきた。今回、高感度・高速応答化に向けた構造について調査したので報告する。