[22p-P06-1~23] 17 ナノカーボン(ポスター)

[22p-P06-21] 数層h-BN膜のCVD成長と絶縁破壊特性の評価

〇(M1C)楠瀬 宏規¹、深町 悟²、河原 憲治²、吾郷 浩樹^1,2 (1.九大院総理工、2.九大GIC)

キーワード：六方晶窒化ホウ素、CVD、ブレイクダウン測定