[23a-D315-1~11] 3.1 光学基礎・光学新領域

△ [23a-D315-3] 光ニードル顕微鏡法によるワイドバンドギャップ半導体内欠陥の高速３次元計測

〇三浦 祐樹¹、土屋 裕祐¹、小澤 祐市¹、上杉 祐貴¹、佐藤 俊一¹ (1.東北大多元研)

キーワード：3次元イメージング、ベッセルビーム、エアリービーム

本講演では、多光子励起フォトルミネッセンスを用いてワイドバンドギャップ半導体内転位を高速かつ3次元的に計測するための新たな手法について発表する。本手法は、長焦点深度のベッセルビームによる深さ方向への一斉励起と、自己湾曲性をもつエアリービームによる深さ情報の復元を原理とする。実際に本手法をGaNの観察に適用した結果、1回の2次元走査のみから深さ方向の3次元画像を取得することに成功した。