[23a-E202-1~10] 15.4 III-V族窒化物結晶

[23a-E202-2] InGaNナノコラム蛍光発光を用いた黄色発光LEDの検討

〇壁屋 誠人¹、東峰 佳伸¹、安永 弘樹¹、水口 公陽¹、西川 敦²、Alexander Loesing²、関口 寛人^1,3 (1.豊技大、2.ALLOS、3.JST)

キーワード：ナノコラム、GaNLED、エピタキシャル成長

青色LEDと黄色LEDの集積化に向けて、青色LEDウエハ上にInGaN/GaNナノコラムをエピタキシャル成長させ、LEDウエハデバイスプロセス技術を施した。作製したナノコラムによるPLスペクトルでは目的とする黄色発光が得られた。作製したLEDを10µAで駆動させ、ELスペクトルからはいずれも青色発光が得られたが，ナノコラムがもつLEDは550-650nmの領域の発光が観測された。この結果はInGaNナノコラム蛍光発光を用いた黄色発光LED実現の可能性を示すものである。