[23a-E204-1~10] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[23a-E204-9] CVD 成長大面積 hBN シートへの遷移金属酸化物薄膜結晶の成長

〇玄地 真悟¹、深町 悟²、大坂 藍¹、服部 梓¹、吾郷 浩樹²、田中 秀和¹ (1.阪大産研、2.九大GIC)

キーワード：金属-絶縁体相転移、六方晶窒化ホウ素、薄膜成長

本研究ではフレキシブルデバイス応用を視野に入れ、化学気相成長（CVD）法で成長させたhBNシート上に遷移金属酸化物薄膜を成長させた結果を報告する。パルスレーザー堆積法で作製したCVD-hBNシート上Fe₃O₄薄膜は任意の測定点で明瞭なラマンピークを示した。当日はX線回折測定による薄膜の構造解析結果およびシート転写による電気伝導特性評価についても報告する。