[23a-E304-1~11] 3.7 レーザープロセシング

△ [23a-E304-9] フェムト秒レーザーによる自立した単層グラフェン膜の加工

〇門口 尚広^1,2、三輪 泰斗^1,2、上杉 祐貴^1,3、小澤 祐市¹、佐藤 俊一¹ (1.東北大多元研、2.東北大工院、3.JSTさきがけ)

キーワード：レーザープロセス、フェムト秒レーザー、グラフェン

本講演では自立した単層グラフェンのフェムト秒レーザーによる加工について講演する。
本研究では空間光変調器を使って入射フェムト秒レーザーに周期的な空間位相変調パターンを与え、複数のビームに回折・分岐し、それらを単層グラフェン試料面上に集光して干渉加工を行った。
これにより単層グラフェンを数百nmオーダーの格子やドット状に加工することに成功した。