[23p-E204-1~13] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[23p-E204-12] イルメナイト型MgTiO₃薄膜のパルスレーザー堆積法による合成

〇根岸 真通¹、藤原 宏平¹、塚﨑 敦^1,2,3 (1.東北大金研、2.東北大CSRN、3.東北大CSIS)

キーワード：薄膜、酸化物、バンドギャップ

MgTiO₃薄膜の高品質化を実現するため、パルスレーザー堆積法による合成条件最適化を行った。合成条件最適化による双晶発生の抑制や、得られた試料の紫外可視光吸収スペクトルの評価について講演する。