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[23p-E305-3] NVセンサ用ダイヤモンド素子とその応用の可能性
キーワード:ダイヤモンド、NVセンサ、センシング
単結晶ダイヤモンドに異元素を添加することで電気・磁気的特性も付与できるため、センシング等様々な分野での応用も期待できる。当社は独自の超高圧合成技術を通して、世界最高レベルの高純度・低欠陥ダイヤモンドを製作し、更に日新電機にて電子線照射やイオン注入処理を行い、高感度のNVセンサの製作に成功した。今回、高品質ダイヤモンドの合成方法、更にそれを利用したNVセンサと、その応用可能性について紹介する。