[23p-P01-1~4] 3.1 光学基礎・光学新領域

[23p-P01-2] 孤立レジストパターンの軟X線光波散乱および結像計測

〇星野 鉄哉¹、青木 貞雄¹、伊藤 雅英¹、七里 元晴²、井藤 浩志² (1.筑波大数物、2.産総研)

キーワード：光波散乱計測、軟X線、深層学習

光波散乱計測は、媒体と試料の屈折率差がおおよそ０．１以上の場合、３次元形状計測において、結像計測に比べ精度が二桁向上する。この手法で、周期構造については深層学習による形状推定がされているが、本報告では、汎用性が高い孤立形状に深層学習を適用した。油滴の光計測はすでに報告したが、さらに、サイズ・アスペクト比を計算するための、光軸を含む平面での断面形状について、楕円、半楕円、四角、三角を判別する。