[23p-P04-1~5] 6.1 強誘電体薄膜

[23p-P04-4] スパッタ法によるSi基板上へのBiFeO₃エピタキシャル膜の作製

〇高木 昂平¹、藤村 紀文¹、吉村 武¹ (1.阪府大工)

キーワード：強誘電体、エピタキシャル膜、BiFeO3