[23p-P05-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

[23p-P05-4] 軟X線照射による水素化DLC膜の構造変化

〇丹羽 大輔¹、三嶋 友博¹、寺井 響¹、中西 康次¹、新部 正人¹、神田 一浩¹、堀 史説²、薮内 敦³、木野村 淳³ (1.兵県大高度研、2.大阪府大工、3.京大複合研)

キーワード：水素化DLC膜