[23p-P05-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

[23p-P05-5] Si含有DLC膜のX線吸収微細構造測定による構造解析

〇(B)寺井 響¹、中西 康次¹、新部 正人¹、神田 一浩¹、赤坂 大樹² (1.兵県大高度研、2.東工大工)

キーワード：Si含有DLC膜、X線吸収微細構造