[23p-P05-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

[23p-P05-9] 摺動試験前後のダイヤモンド状炭素膜表面の構造評価

〇(M1)法月 奏太¹、Tunmee Sarayut²、Euaruksakun Chanan²、Rittihong Ukit²、鈴木 啓介¹、冨所 優志¹、平田 祐樹¹、大竹 尚登¹、赤坂 大樹¹ (1.東工大、2.タイ放射光研究所)

キーワード：DLC

ダイヤモンド状炭素(DLC)膜は低摩擦係数、耐摩耗性に優れ、固体潤滑材として用いられている．膜の摺動特性は膜の水素量や炭素のsp²/sp³結合比等の構造に依存し、摺動によりこれらの構造が変化すると考えられている．本研究では DLC膜を摺動試験し、摺動による膜のsp²/sp³比の局所的な構造変化をＸ線光電子顕微鏡 (X-PEEM) 像とX線吸収微細構造(NEXAFS)により評価した．